淺談電子廠無塵淨化車間的特點及參數
發布者:精品欧美麻豆淨化工程公司瀏覽次數:發布時間:2022-07-29
電子廠淨化車間的特點:
電子廠淨化車間等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔淨室截麵風速按設計或規範受控,另外電子廠淨化車間對靜電要求相當嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過於幹燥的廠房內容易產生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來說,電子廠淨化車間的溫度應控製在22℃左右,相對濕度控製在50-60%之間(特殊潔淨車間有相關溫濕度規定)。 這時可有效地消除靜電,並使人也感覺舒適。芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤製造車間是屬於電子廠淨化車間的重要組成部分,由於電子產品在製造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格,主要以控製微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。
国产麻豆学生视频舉例拿杭州兆奕科技電子廠無塵車間為例:就要求做到十萬級無塵車間恒溫恒濕的特殊要求,既可以保障產品質量又可以防止靜電,還可以讓人員有個較好的環境下作業,如圖所示:

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電子廠無塵車間參數:
1、萬級電子廠無塵車間內的噪聲級(空態):不應大於65dB(A)。
2、電子廠無塵車間垂直流潔淨室滿布比不應小於60%,水平單向流潔淨室不應小於40%,否則就是局部單向流了。
3、電子廠無塵車間與室外的靜壓差不應小於10Pa,不同空氣潔淨度的潔淨區與非潔淨區之間的靜壓差不應小於5Pa。
4、電子廠無塵車間內的新鮮空氣量應取下列二項中的較大值:
(1)補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
(2)保證供給電子廠淨化車間內每人每小時的新鮮空氣量不小於40m3。
(3)電子廠淨化車間淨化空調係統加熱器,應設置新風,超溫斷電保護,若采用點加濕時應設置無水保護,寒冷地區,新風係統應設置防凍保護措施。無塵室的送風量,應取下麵三項較大值:保證淨化車間空氣潔淨度等級的送風量;根據熱,濕負荷計算確定電子廠潔淨室的送風量;向電子製造廠潔淨室內供給的新鮮空氣量。
5、電子廠無塵車間對溫度、濕度無特殊要求時,以穿著潔淨服不產生舒適感為宜,溫度一般控製在秋冬季20~22℃;春夏季24~26℃;波動±2℃。秋冬季潔淨車間空氣濕度控製在30-50%,春夏季潔淨車間空氣濕度控製在50-70%。
6、配電:潔淨室(區)的主要生產用地一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員潔淨和物料潔淨用室、氣閘室、過道等的照度值宜為200~300Lx。